一種多功能晶圓裂片機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122483227.4 申請日 -
公開（公告）號 CN216120226U 公開（公告）日 2022-03-22
申請公布號 CN216120226U 申請公布日 2022-03-22
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/78（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 古德宗;廖浚男;范光宇 申請（專利權(quán)）人 嘉興市揚佳科技合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機構(gòu) 嘉興啟帆專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王家蕾
地址 314513浙江省嘉興市桐鄉(xiāng)市洲泉鎮(zhèn)湘溪大道1383號2幢2層1間
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種多功能晶圓裂片機，包括工作臺和輔助機構(gòu)，兩個滑塊相對的一側(cè)均固定連接有固定塊，兩個固定塊之間設(shè)置有輥壓機構(gòu)，輔助機構(gòu)設(shè)有兩組，輔助機構(gòu)由橡膠刮板、兩個連接塊和彈簧組成，兩個固定塊相對的一側(cè)均開設(shè)有第一滑槽，兩個連接塊分別滑動連接于兩個第一滑槽的內(nèi)壁，兩個彈簧分別設(shè)置于兩個第一滑槽的內(nèi)部。本實用新型利用橡膠刮板、連接塊和彈簧的設(shè)置，通過彈簧的彈性作用，使得彈簧一直擠壓連接塊，連接塊將這個擠壓力作用到橡膠刮板上，使得橡膠刮板一直擠壓這膠輥的外壁，從而使得晶圓在附著到膠輥上還沒轉(zhuǎn)動半圈便被橡膠刮板刮下，避免晶圓繼續(xù)轉(zhuǎn)動受到損壞，提高了膠輥對晶圓的分離質(zhì)量。