一種芯片制造用晶圓裂片機(jī)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122592494.5 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN216578645U | 公開（公告）日 | 2022-05-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216578645U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-05-24 |
| 分類號(hào) | B28D5/00（2006.01）I | 分類 | 加工水泥、黏土或石料; |
| 發(fā)明人 | 范光宇;古德宗;廖浚男 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 嘉興市揚(yáng)佳科技合伙企業(yè)（有限合伙） |
| 代理機(jī)構(gòu) | 嘉興啟帆專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 314513浙江省嘉興市桐鄉(xiāng)市洲泉鎮(zhèn)湘溪大道1383號(hào)2幢2層1間 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種芯片制造用晶圓裂片機(jī)，包括承載臺(tái)，還包括清理機(jī)構(gòu)和電動(dòng)導(dǎo)軌，所述承載臺(tái)的頂部左側(cè)安裝有清理機(jī)構(gòu)，所述清理機(jī)構(gòu)由箱體、電機(jī)、毛刷筒和軸承組合構(gòu)成，所述箱體的外側(cè)壁安裝有電機(jī)，所述電機(jī)的輸出端安裝有毛刷筒，且毛刷筒位于箱體內(nèi)，所述箱體的內(nèi)側(cè)壁安裝有軸承，且毛刷筒的另一端位于軸承內(nèi)。通過(guò)清理機(jī)構(gòu)能夠?qū)⒕A表面進(jìn)行清理，避免雜質(zhì)影響晶圓質(zhì)量；再通過(guò)夾緊機(jī)構(gòu)能夠?qū)⒕A夾緊，避免加工時(shí)晃動(dòng)影響加工質(zhì)量。 |
