一種電阻式6英寸碳化硅單晶爐的機械系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111239982.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113981538A 公開（公告）日 2022-01-28
申請公布號 CN113981538A 申請公布日 2022-01-28
分類號 C30B29/36（2006.01）I;C30B35/00（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 哈爾濱科友半導體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司
代理機構(gòu) 哈爾濱市晨晟知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 朱永林
地址 150000黑龍江省哈爾濱市松北區(qū)智谷二街3043號哈爾濱松北（深圳龍崗）科技創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園12棟1-5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種單晶爐的機械系統(tǒng)，具體涉及一種電阻式6英寸碳化硅單晶爐的機械系統(tǒng)。該系統(tǒng)包括底座、機械旋轉(zhuǎn)腔室、支柱、電機、爐體、循環(huán)水系統(tǒng)、大爐蓋、小爐蓋、電極、大爐蓋驅(qū)動架、小爐蓋驅(qū)動架、驅(qū)動電機、測溫裝置、真空檢測裝置、進氣孔及出氣孔。其特征在于底座為長方體，機械旋轉(zhuǎn)腔室嵌入底座內(nèi)，支柱為圓柱體，安置于底座內(nèi)部，爐體位于底座上方，夾層處設有循環(huán)水系統(tǒng)，大爐蓋呈圓形，位于爐體上方，電極呈圓環(huán)形，位于爐體內(nèi)部，大爐蓋驅(qū)動架及小爐蓋驅(qū)動架位于爐體兩側(cè)，通過驅(qū)動電機安置于底座上，測溫裝置及真空檢測裝置位于小爐蓋兩側(cè)，進氣孔與出氣孔安置于大爐蓋及爐體右側(cè)。該機械系統(tǒng)可有效提高晶體質(zhì)量，降低生長成本。