一種晶體生長(zhǎng)測(cè)溫裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202122346666.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN216050293U | 公開（公告）日 | 2022-03-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN216050293U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-15 |
| 分類號(hào) | G01J5/00（2022.01）I;G01J5/05（2022.01）I;G01J5/0875（2022.01）I;G01J5/0813（2022.01）I;C30B35/00（2006.01）I;C30B29/36（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 不公告發(fā)明人 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 哈爾濱市偉晨專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 陳潤(rùn)明 |
| 地址 | 150000黑龍江省哈爾濱市松北區(qū)智谷二街3043號(hào)哈爾濱松北（深圳龍崗）科技創(chuàng)新產(chǎn)業(yè)園12棟1-5樓 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種晶體生長(zhǎng)測(cè)溫裝置，屬于晶體生長(zhǎng)技術(shù)領(lǐng)域。本實(shí)用新型筒體內(nèi)部設(shè)置有熱場(chǎng)，連接管一端與筒體內(nèi)部連通設(shè)置，連接管另一端設(shè)置有視窗，視窗外側(cè)配合安裝有轉(zhuǎn)角可視測(cè)溫儀，所述連接管的側(cè)壁開設(shè)有與內(nèi)部連通的排氣管，還包括安裝擋板和氣流導(dǎo)向筒，氣流導(dǎo)向筒一端通過安裝擋板安裝在連接管與筒體的連接處，氣流導(dǎo)向筒另一端伸入連接管內(nèi)部并且靠近視窗內(nèi)側(cè)，筒體內(nèi)部的氣體通過氣流導(dǎo)向筒流入連接管，在連接管內(nèi)部靠近視窗一側(cè)形成沖擊氣流，沖擊氣流對(duì)視窗內(nèi)側(cè)沉積的揮發(fā)物沖擊震落后，從連接管側(cè)壁的排氣管排出。目的是為了解決測(cè)溫窗不潔凈，影響紅外線測(cè)溫精度的問題，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)巧妙、拆裝方便、組裝牢固，適于推廣使用。 |
