AlN籽晶精確擴(kuò)徑的裝置及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010218338.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111321472B 公開（公告）日 2022-02-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN111321472B 申請(qǐng)公布日 2022-02-22
分類號(hào) C30B35/00（2006.01）I;C30B29/40（2006.01）I;C30B23/00（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 趙麗麗;范國(guó)峰;張勝濤;袁文博;劉德超 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 哈爾濱市偉晨專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 李曉敏
地址 150000黑龍江省哈爾濱市南崗區(qū)哈西大街與學(xué)府四道街交匯處第40棟-1-2層12號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種AlN籽晶精確擴(kuò)徑的裝置及方法，屬于晶體生長(zhǎng)領(lǐng)域。操作簡(jiǎn)單，效率高，根據(jù)需要制作相應(yīng)尺寸的AlN晶體。AlN籽晶精確擴(kuò)徑的裝置包括石墨加熱器、坩堝和生長(zhǎng)組合，坩堝位于石墨加熱器的內(nèi)部，生長(zhǎng)組合位于坩堝的內(nèi)部，碳化硅籽晶墊圈與坩堝墊圈和坩堝體可拆卸連接，可通過(guò)更換不同尺寸的碳化硅籽晶墊圈來(lái)獲得相應(yīng)尺寸的AlN籽晶，操作簡(jiǎn)單，從根本上解決了氮化鋁晶體生長(zhǎng)過(guò)程中，擴(kuò)徑困難的問(wèn)題，相比于現(xiàn)有技術(shù)，AlN籽晶精確擴(kuò)徑的裝置及方法加快氮化鋁晶體生長(zhǎng)擴(kuò)徑速率和節(jié)省氮化鋁晶體生長(zhǎng)擴(kuò)徑的費(fèi)用和時(shí)間，加快氮化鋁晶體生長(zhǎng)行業(yè)的發(fā)展進(jìn)程。