導(dǎo)電布及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810291787.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108531860A 公開（公告）日 2018-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN108531860A 申請(qǐng)公布日 2018-09-14
分類號(hào) C23C14/20;C23C14/32;C23C14/58;C23C28/02;D06M11/83;D06M101/38 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王明樹;曾曉輝;黃志明 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 常州市井田新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市瑞方達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)事務(wù)所（普通合伙） 代理人 張約宗;王少虹
地址 518055 廣東省深圳市南山區(qū)北環(huán)路高發(fā)工業(yè)區(qū)8#廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種導(dǎo)電布及其制備方法，制備方法包括以下步驟：S1、在真空室內(nèi)的鍍覆區(qū)安裝鍍層對(duì)應(yīng)的靶材，將胚布置于真空室內(nèi)；S2、對(duì)真空室進(jìn)行抽真空至本底真空度后充入惰性氣體，將真空室內(nèi)壓力控制并保持在預(yù)定壓力；S3、輸送所述胚布使其經(jīng)過鍍覆區(qū)，開啟多弧電源，通過多弧離子鍍對(duì)胚布進(jìn)行鍍層，形成導(dǎo)電布；其中，多弧離子鍍的工作電壓為18?40V，單靶電流30?100A，基底偏壓為0?100V。本發(fā)明的導(dǎo)電布的制備方法，工序簡單，節(jié)省人力，減少了制備過程中廢水、廢氣、危險(xiǎn)固廢的產(chǎn)生，環(huán)保；制得的導(dǎo)電布具有電阻低、鍍層內(nèi)應(yīng)力低、延展性好，性能穩(wěn)定、附著力優(yōu)良等優(yōu)點(diǎn)。