石墨烯金屬?gòu)?fù)合粉體連續(xù)生長(zhǎng)設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201822232542.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN209974884U 公開(kāi)(公告)日 2020-01-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN209974884U 申請(qǐng)公布日 2020-01-21
分類(lèi)號(hào) C23C16/455;C23C16/06;C23C16/26 分類(lèi) 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 馬瑜;呂雪超;王續(xù)楊;錢(qián)天寶;楊軍 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 上海新池能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京卓言知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 上海新池能源科技有限公司;浙江正泰電器股份有限公司
地址 201821 上海市嘉定區(qū)嘉定工業(yè)區(qū)葉城路1411號(hào)4幢202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種石墨烯金屬?gòu)?fù)合粉體連續(xù)生長(zhǎng)設(shè)備,包括依次相連的進(jìn)樣室、CVD管式爐和降溫室,還包括真空機(jī)組、供氣系統(tǒng)和加熱裝置,所述真空機(jī)組和供氣系統(tǒng)均分別與進(jìn)樣室、CVD管式爐和降溫室連接,所述加熱裝置與CVD管式爐連接,所述CVD管式爐與進(jìn)樣室之間的連通口處設(shè)有第一真空擋板閥,CVD管式爐與降溫室之間的連通口處設(shè)有第二真空擋板閥。本實(shí)用新型的石墨烯金屬?gòu)?fù)合粉體連續(xù)生長(zhǎng)設(shè)備,提高生產(chǎn)效率,擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模,降低能耗。