石墨烯金屬復(fù)合粉體連續(xù)生長設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201822232542.8 申請日 -
公開（公告）號 CN209974884U 公開（公告）日 2020-01-21
申請公布號 CN209974884U 申請公布日 2020-01-21
分類號 C23C16/455;C23C16/06;C23C16/26 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 馬瑜;呂雪超;王續(xù)楊;錢天寶;楊軍 申請（專利權(quán)）人 上海新池能源科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京卓言知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海新池能源科技有限公司;浙江正泰電器股份有限公司
地址 201821 上海市嘉定區(qū)嘉定工業(yè)區(qū)葉城路1411號4幢202室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種石墨烯金屬復(fù)合粉體連續(xù)生長設(shè)備，包括依次相連的進(jìn)樣室、CVD管式爐和降溫室，還包括真空機(jī)組、供氣系統(tǒng)和加熱裝置，所述真空機(jī)組和供氣系統(tǒng)均分別與進(jìn)樣室、CVD管式爐和降溫室連接，所述加熱裝置與CVD管式爐連接，所述CVD管式爐與進(jìn)樣室之間的連通口處設(shè)有第一真空擋板閥，CVD管式爐與降溫室之間的連通口處設(shè)有第二真空擋板閥。本實用新型的石墨烯金屬復(fù)合粉體連續(xù)生長設(shè)備，提高生產(chǎn)效率，擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模，降低能耗。