LPCVD和ALD兩用布?xì)庋b置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910774024.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112410758A 公開（公告）日 2021-02-26
申請公布號 CN112410758A 申請公布日 2021-02-26
分類號 C23C16/455(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王楊陽;楊陸晗;王紅美;彭為報(bào);孫嵩泉 申請（專利權(quán)）人 普樂新能源（蚌埠）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蚌埠鼎力專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 張建宏
地址 233030安徽省蚌埠市湯和路268號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 LPCVD和ALD兩用布?xì)庋b置，包括加熱爐，加熱爐爐口處設(shè)置有用于連接布?xì)庋b置的緊固法蘭，緊固法蘭沿軸向遠(yuǎn)離加熱爐的一側(cè)設(shè)有兩個(gè)同軸連接的布?xì)夥ㄌm，兩個(gè)布?xì)夥ㄌm與緊固法蘭通過螺栓配合連接，設(shè)沿布?xì)夥ㄌm的軸向靠近加熱爐的一側(cè)為內(nèi)、遠(yuǎn)離加熱爐的一側(cè)為外，所述位于外側(cè)的那個(gè)布?xì)夥ㄌm的外側(cè)設(shè)有一個(gè)與布?xì)夥ㄌm相匹配的爐口蓋板。采用本裝置可以使一個(gè)加熱爐兼容兩種鍍膜工藝，可以減少加熱爐的采購量，減少成本而且還可以節(jié)省占用空間。??