低壓化學(xué)氣相沉積真空管式爐的柔性襯管

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201920668512.3 申請日 -
公開（公告）號 CN209974890U 公開（公告）日 2020-01-21
申請公布號 CN209974890U 申請公布日 2020-01-21
分類號 C23C16/54 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王楊陽;馬磊;章新良;劉海;孫友巍;孫嵩泉 申請（專利權(quán)）人 普樂新能源（蚌埠）有限公司
代理機構(gòu) 蚌埠鼎力專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 普樂新能源（蚌埠）有限公司
地址 233030 安徽省蚌埠市湯和路268號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型給出了一種低壓化學(xué)氣相沉積真空管式爐的柔性襯管；包括骨架和石英玻璃纖維，骨架為兩端開口的圓管狀，骨架的外壁契合低壓化學(xué)氣相沉積真空管式爐的石英管內(nèi)壁輪廓，骨架設(shè)有容納內(nèi)孔載片舟的內(nèi)孔，石英玻璃纖維完全包裹在骨架外壁和內(nèi)孔側(cè)壁上形成石英玻璃纖維層，石英玻璃纖維層外側(cè)鍍有與低壓化學(xué)氣相沉積真空管式爐中反應(yīng)氣體產(chǎn)生的沉積物相同的沉積層。將本柔性襯管套裝在低壓化學(xué)氣相沉積真空管式爐的石英管內(nèi)壁上，沉積物沉積到本低壓化學(xué)氣相沉積真空管式爐的柔性襯管上，可以阻擋沉積物沉積到低壓化學(xué)氣相沉積真空管式爐的石英管上，而且本柔性襯管沒有密封要求，便于維護(hù)，又易拆裝，同時成本節(jié)約50％。