菱形硅片載片舟的冷卻裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201921194958.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN210560745U 公開（公告）日 2020-05-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN210560745U 申請(qǐng)公布日 2020-05-19
分類號(hào) C23C16/458;C23C16/46;H01L21/67;H01L21/673 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王楊陽(yáng);王紅美;章新良;孫嵩泉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 普樂新能源（蚌埠）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蚌埠鼎力專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 普樂新能源（蚌埠）有限公司
地址 233030 安徽省蚌埠市湯和路268號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型給出了一種菱形硅片載片舟的冷卻裝置；包括底座、風(fēng)冷組件、兩個(gè)支架和若干銷軸；兩個(gè)支架分別固定連接在底座上端面兩側(cè)，若干銷軸分為兩組，兩組銷軸分別固定在兩個(gè)支架上，兩組銷軸相對(duì)布置，兩組軸銷與載片舟的底部配合且兩組軸銷用于支撐載片舟；風(fēng)冷組件包括若干風(fēng)冷管，風(fēng)冷管一端與氣源連接，風(fēng)冷管另一端封閉，風(fēng)冷管表面開有若干風(fēng)冷孔，所述風(fēng)冷孔對(duì)準(zhǔn)載片舟上的菱形硅片。若干銷軸支撐載片舟，氣源向風(fēng)冷組件的風(fēng)冷管輸送冷風(fēng)介質(zhì)，再?gòu)娘L(fēng)冷孔吹出對(duì)載片舟上的菱形硅片進(jìn)行冷卻，加速了對(duì)菱形硅片的冷卻作業(yè)，提升了工作效率。