LPCVD和ALD兩用布氣裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201921362811.0 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN211005612U | 公開（公告）日 | 2020-07-14 |
| 申請公布號 | CN211005612U | 申請公布日 | 2020-07-14 |
| 分類號 | C23C16/455(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 王楊陽;楊陸晗;王紅美;彭為報;孫嵩泉 | 申請（專利權）人 | 普樂新能源（蚌埠）有限公司 |
| 代理機構 | 蚌埠鼎力專利商標事務所有限公司 | 代理人 | 普樂新能源（蚌埠）有限公司 |
| 地址 | 233030安徽省蚌埠市湯和路268號 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | LPCVD和ALD兩用布氣裝置，包括加熱爐，加熱爐爐口處設置有用于連接布氣裝置的緊固法蘭，緊固法蘭沿軸向遠離加熱爐的一側設有兩個同軸連接的布氣法蘭，兩個布氣法蘭與緊固法蘭通過螺栓配合連接，設沿布氣法蘭的軸向靠近加熱爐的一側為內(nèi)、遠離加熱爐的一側為外，所述位于外側的那個布氣法蘭的外側設有一個與布氣法蘭相匹配的爐口蓋板。采用本裝置可以使一個加熱爐兼容兩種鍍膜工藝，可以減少加熱爐的采購量，減少成本而且還可以節(jié)省占用空間。?? |
