管式PECVD鍍膜專用石墨舟

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110777810.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113355656A 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN113355656A 申請公布日 2021-09-07
分類號 C23C16/458;C23C16/50;H01L31/18 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王楊陽;葛懷慶;練菊;孫友巍;孫嵩泉 申請（專利權）人 普樂新能源（蚌埠）有限公司
代理機構 蚌埠鼎力專利商標事務所有限公司 代理人 王琪;和聚龍
地址 233030 安徽省蚌埠市湯和路268號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明給出了一種管式PECVD鍍膜專用石墨舟，包括依次平行布置的若干石墨舟片，所述石墨舟片上開有若干鏤空區(qū)域，若干鏤空區(qū)域依次間隔布置，所述石墨舟片對應鏤空區(qū)域位置周圍設有若干卡點；所述鏤空區(qū)域覆蓋有石墨網(wǎng)。石墨網(wǎng)代替原本石墨舟片的鏤空區(qū)域，使得鍍膜時均勻放電，硅片鍍膜后四周不會有色差，提升鍍膜質量。相比現(xiàn)有技術，石墨舟片上依舊可以開有鏤空區(qū)域，由于只在鏤空區(qū)域上增設石墨網(wǎng)，而且鏤空區(qū)域延伸至對應卡點位置，并沒有增加石墨舟的整體質量，但是克服了原本石墨舟鍍膜不均勻的問題。