一種硅棒的切割方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911383252.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113043486A 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN113043486A 申請公布日 2021-06-29
分類號 B28D5/00;B28D5/04 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 郭慶紅;李飛龍;熊震 申請（專利權(quán)）人 阿特斯光伏電力（洛陽）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 鞏克棟
地址 471023 河南省洛陽市洛龍科技園贏洲路2號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅棒的切割方法，所述方法包括采用切片機(jī)對硅棒進(jìn)行雙向切割，包括：1）硅棒切割深度達(dá)到目標(biāo)終止位置占比<設(shè)定值M0時，正向切割，即以先正向再反向的方式切割硅片，且切割時正向的切割線使用量大于反向的切割線使用量；2）硅棒切割深度達(dá)到目標(biāo)終止位置占比≥設(shè)定值M0時，反向切割，即以先正向再反向的方式切割硅片，且切割時正向的切割線使用量小于反向的切割線使用量。本發(fā)明的方法可顯著改善停機(jī)時硅棒出現(xiàn)切不透的問題，降低加切率、硅片TTV占比、單片耗線量和加工成本，并能提升切割良品率。