一種傳感器及其調(diào)節(jié)方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200710099060.3 申請日 -
公開（公告）號 CN101303239B 公開（公告）日 2010-05-26
申請公布號 CN101303239B 申請公布日 2010-05-26
分類號 G01D5/24(2006.01)I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 姜巖峰 申請（專利權(quán)）人 北京一品傳奇信息技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 北京凱特來知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北方工業(yè)大學(xué);天津中亞慧通科技有限公司
地址 100041 北京市石景山區(qū)晉元莊5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種傳感器及其調(diào)節(jié)方法，所述的傳感器包括：微型懸臂梁(或微型橋)和MOS管，其中，所述的微型懸臂梁(或微型橋)搭建在MOS管上，在微型懸臂梁(或微型橋)和MOS管之間形成檢測電容；所述的傳感器調(diào)節(jié)方法通過在微型懸臂梁或微型橋內(nèi)置浮動多晶硅層，所述的浮動多晶硅層用以接收注入電荷，使浮柵電壓具有傳感器電耦比和注射電荷功能。因此，本發(fā)明的實現(xiàn)可以使微型懸臂梁、微型橋的變化情況通過電容傳遞MOS管，直接以輸出電流信號的變化情況反應(yīng)微型懸臂梁、微型橋的變化情況；同時，可以通過注射電荷的數(shù)量調(diào)節(jié)傳感器的閾值電壓，提高傳感器的靈敏度。