一種傳感器及其調(diào)節(jié)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200710099060.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101303239A 公開（公告）日 2008-11-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN101303239A 申請(qǐng)公布日 2008-11-12
分類號(hào) G01D5/24(2006.01) 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 姜巖峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京一品傳奇信息技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京凱特來(lái)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北方工業(yè)大學(xué);天津中亞慧通科技有限公司
地址 100041北京市石景山區(qū)晉元莊5號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種傳感器及其調(diào)節(jié)方法，所述的傳感器包括：微型懸臂梁(或微型橋)和MOS管，其中，所述的微型懸臂梁(或微型橋)搭建在MOS管上，在微型懸臂梁(或微型橋)和MOS管之間形成檢測(cè)電容；所述的傳感器調(diào)節(jié)方法通過(guò)在微型懸臂梁或微型橋內(nèi)置浮動(dòng)多晶硅層，所述的浮動(dòng)多晶硅層用以接收注入電荷，使浮柵電壓具有傳感器電耦比和注射電荷功能。因此，本發(fā)明的實(shí)現(xiàn)可以使微型懸臂梁、微型橋的變化情況通過(guò)電容傳遞MOS管，直接以輸出電流信號(hào)的變化情況反應(yīng)微型懸臂梁、微型橋的變化情況；同時(shí)，可以通過(guò)注射電荷的數(shù)量調(diào)節(jié)傳感器的閾值電壓，提高傳感器的靈敏度。