硅納米線壓力傳感器及懸臂梁及制作方法及其測(cè)量壓力的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200810116699.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN101397121A 公開(kāi)（公告）日 2009-04-01
申請(qǐng)公布號(hào) CN101397121A 申請(qǐng)公布日 2009-04-01
分類號(hào) B81B7/02(2006.01)I;G01L1/22(2006.01)I;B82B1/00(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 姜巖峰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京一品傳奇信息技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京凱特來(lái)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙鎮(zhèn)勇
地址 100041北京市石景山區(qū)晉元莊5號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種硅納米線壓力傳感器懸臂梁及制作方法及其測(cè)量壓力的方法，首先生長(zhǎng)20nm左右的硅納米線，進(jìn)行烘干處理后，用掃描隧道顯微鏡STM針尖操作將硅納米線裝配到微電子機(jī)械的懸臂梁上。在懸臂梁被釋放前、后，通過(guò)測(cè)量硅納米線傳感器的電阻變化，可以確定出對(duì)應(yīng)懸臂梁的應(yīng)變大小，并根據(jù)所測(cè)量的電阻大小，推導(dǎo)出一個(gè)應(yīng)力參數(shù)η＝|Ra-Rb|×(Ra/Rb)，該參數(shù)與對(duì)應(yīng)被測(cè)量的應(yīng)變大小直接成正比，可以很容易的根據(jù)硅納米線的電阻變化對(duì)應(yīng)查出待測(cè)的應(yīng)力的大小。操作方便、測(cè)量精度高。