硅納米線壓力傳感器及懸臂梁及制作方法及其測(cè)量壓力的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN200810116699.2 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN101397121B | 公開（公告）日 | 2011-01-12 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN101397121B | 申請(qǐng)公布日 | 2011-01-12 |
| 分類號(hào) | B81B7/02(2006.01)I;G01L1/22(2006.01)I;B82B1/00(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;B81C3/00(2006.01)I | 分類 | 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕; |
| 發(fā)明人 | 姜巖峰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 北京一品傳奇信息技術(shù)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京凱特來知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 北方工業(yè)大學(xué);天津中亞慧通科技有限公司 |
| 地址 | 100041 北京市石景山區(qū)晉元莊5號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種硅納米線壓力傳感器懸臂梁及制作方法及其測(cè)量壓力的方法，首先生長20nm左右的硅納米線，進(jìn)行烘干處埋后，用掃描隧道顯微鏡STM針尖操作將硅納米線裝配到微電子機(jī)械的懸臂梁上。在懸臂梁被釋放前、后，通過測(cè)量硅納米線傳感器的電阻變化，可以確定出對(duì)應(yīng)懸臂梁的應(yīng)變大小，并根據(jù)所測(cè)量的電阻大小，推導(dǎo)出一個(gè)應(yīng)力參數(shù) |
