氣體質(zhì)量流量控制器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN96209896.5 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN2243092Y 公開(kāi)（公告）日 1996-12-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN2243092Y 申請(qǐng)公布日 1996-12-18
分類號(hào) G05D7/06 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 應(yīng)為忠;李然 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京圣業(yè)科技發(fā)展有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100872北京市海淀區(qū)中國(guó)人民大學(xué)靜園22樓31號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種氣體質(zhì)量流量控制器，其主要特征是在中空的基體內(nèi)部設(shè)置一限流器，在基體上部采用毛細(xì)管三繞組式溫度傳感器，中間繞組為卡馬斯加熱圈，相對(duì)稱的兩側(cè)繞組為熱敏材料線圈，根據(jù)氣體分子流過(guò)毛細(xì)管產(chǎn)生的溫度，輸出電阻差值，經(jīng)電量轉(zhuǎn)換電路，輸出標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)，實(shí)現(xiàn)測(cè)量和數(shù)字顯示氣體質(zhì)量流量，再經(jīng)控制電路和電磁調(diào)節(jié)閥，實(shí)現(xiàn)精密控制氣體質(zhì)量流量。