一種獨(dú)立式離子膠薄膜門(mén)控石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210363700.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114695124A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114695124A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/336（2006.01）I;H01L29/16（2006.01）I;H01L29/51（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 王利霞;張欣;鈕偉;胡洪萁;普勇 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 南京郵電大學(xué) |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京正聯(lián)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 210023江蘇省南京市棲霞區(qū)文苑路9號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種獨(dú)立式離子膠薄膜門(mén)控石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管制備方法，包括：首先在硅襯底上旋涂光刻膠PMMA，光刻出預(yù)設(shè)電極圖案；將曝光后的硅襯底進(jìn)行顯影操作后置于異丙醇中定影；使用EBE鍍膜裝置在襯底上蒸鍍金屬層，獲得電極；然后將篩選出的石墨烯轉(zhuǎn)移至目標(biāo)電極上，制備石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管；最后將提前配置的離子膠烘烤去除多余的溶劑后，剪切轉(zhuǎn)移至上述石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管上。本發(fā)明通過(guò)提出“先做電極后轉(zhuǎn)樣品”的方法，大大減少了傳統(tǒng)繁瑣操作過(guò)程對(duì)石墨烯樣品表面的負(fù)面影響，有效提升了石墨烯場(chǎng)效應(yīng)晶體管的制備效率和成功率，且這種“剪切粘貼”離子膠的加工策略便于應(yīng)用于制造各種基于半導(dǎo)體材料的晶體管，為大規(guī)模集成電路提供了參考。 |
