微機電傳感器及其形成方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110129992.4 申請日 -
公開（公告）號 CN102249177B 公開（公告）日 2014-02-05
申請公布號 CN102249177B 申請公布日 2014-02-05
分類號 H04R19/04(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;G01L9/12(2006.01)I 分類 電通信技術(shù);
發(fā)明人 毛劍宏;唐德明 申請（專利權(quán)）人 麗水玨意芯誠電子科技合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 上海麗恒光微電子科技有限公司;麗水玨意芯誠電子科技合伙企業(yè)（有限合伙）;浙江玨芯微電子有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張江高科技園區(qū)龍東大道3000號5號樓501B室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種微機電傳感器及其形成方法，所述微機電傳感器包括：第一電極板，振膜，所述第一電極板和所述振膜相對設(shè)置，兩者之間為空腔，所述振膜的一側(cè)暴露于外界空氣；還包括：第二電極板，設(shè)置于所述第一電極板和所述振膜之間，所述振膜與所述第二電極板固定電連接。由于第一電極板和第二電極板之間的距離相對較近，對電容的變化也就相對敏感，因此可以提高信噪比，也就是說，對于微機電麥克風(fēng)可以提高聲音信號的信噪比，對應(yīng)微機電壓力傳感器可以提高壓力信號的信噪比。