一種大尺寸石墨烯玻璃的快速生長方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610474047.0 申請日 -
公開（公告）號 CN107541714B 公開（公告）日 2020-02-04
申請公布號 CN107541714B 申請公布日 2020-02-04
分類號 C23C16/44;C23C16/26;C01B32/182 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉忠范;陳旭東;張艷鋒 申請（專利權(quán)）人 北大資產(chǎn)經(jīng)營有限公司
代理機構(gòu) 北京律智知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京大學(xué);北京石墨烯研究院有限公司
地址 100095 北京市海淀區(qū)蘇家坨鎮(zhèn)翠湖南環(huán)路13號院3號樓4層B401
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種大尺寸石墨烯玻璃的快速生長方法，所述方法包括以下步驟：1)將大尺寸石英玻璃清洗；2)將清洗后的石英玻璃置于高溫管式爐中，反應(yīng)腔內(nèi)溫度為1000℃?1100℃，反應(yīng)腔內(nèi)真空度抽至10Pa以下，排空；3)向反應(yīng)腔內(nèi)通入Ar和H2，待氣流平穩(wěn)后向反應(yīng)腔內(nèi)通入乙醇蒸氣開始石墨烯生長過程，生長時間為4?30分鐘；4)石墨烯生長結(jié)束后，關(guān)閉乙醇蒸氣，調(diào)低Ar和H2流量，溫度降至室溫后關(guān)閉Ar/H2，即得到大尺寸石墨烯玻璃。本發(fā)明能夠?qū)⑹┎Ａе苽鋾r間由幾小時縮短至4?30分鐘，利用本發(fā)明可以制備出更大尺寸的石墨烯玻璃。