一種大尺寸石墨烯玻璃的快速生長(zhǎng)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610474047.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107541714B 公開（公告）日 2020-02-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN107541714B 申請(qǐng)公布日 2020-02-04
分類號(hào) C23C16/44;C23C16/26;C01B32/182 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉忠范;陳旭東;張艷鋒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北大資產(chǎn)經(jīng)營(yíng)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京律智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京大學(xué);北京石墨烯研究院有限公司
地址 100095 北京市海淀區(qū)蘇家坨鎮(zhèn)翠湖南環(huán)路13號(hào)院3號(hào)樓4層B401
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種大尺寸石墨烯玻璃的快速生長(zhǎng)方法，所述方法包括以下步驟：1)將大尺寸石英玻璃清洗；2)將清洗后的石英玻璃置于高溫管式爐中，反應(yīng)腔內(nèi)溫度為1000℃?1100℃，反應(yīng)腔內(nèi)真空度抽至10Pa以下，排空；3)向反應(yīng)腔內(nèi)通入Ar和H2，待氣流平穩(wěn)后向反應(yīng)腔內(nèi)通入乙醇蒸氣開始石墨烯生長(zhǎng)過程，生長(zhǎng)時(shí)間為4?30分鐘；4)石墨烯生長(zhǎng)結(jié)束后，關(guān)閉乙醇蒸氣，調(diào)低Ar和H2流量，溫度降至室溫后關(guān)閉Ar/H2，即得到大尺寸石墨烯玻璃。本發(fā)明能夠?qū)⑹┎Ａе苽鋾r(shí)間由幾小時(shí)縮短至4?30分鐘，利用本發(fā)明可以制備出更大尺寸的石墨烯玻璃。