一種在PECVD中實(shí)現(xiàn)縱向及橫向石墨烯可控制備的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710083603.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN106927453B 公開(kāi)（公告）日 2018-12-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN106927453B 申請(qǐng)公布日 2018-12-04
分類(lèi)號(hào) C01B32/186 分類(lèi) 無(wú)機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 劉忠范;亓月;張艷鋒 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 北大資產(chǎn)經(jīng)營(yíng)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京方安思達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 北京大學(xué);北京石墨烯研究院有限公司
地址 100871 北京市海淀區(qū)頤和園路5號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于石墨烯制備領(lǐng)域，具體地，涉及一種在PECVD中實(shí)現(xiàn)縱向及橫向石墨烯可控制備的方法。本發(fā)明包括以下步驟：1)依次用乙醇、丙酮、異丙醇對(duì)玻璃基底進(jìn)行清洗；然后用氬氣吹干玻璃基底；2)將被法拉第籠包裹的玻璃基底置于PECVD腔內(nèi)，將基底加熱到540～580℃；3)加入氬氣、甲烷與氫氣，產(chǎn)生等離子體，生長(zhǎng)60～120分鐘；4)關(guān)閉等離子體發(fā)生源，在氬氣氛圍下自然降溫至50℃以下，開(kāi)腔得到的石墨烯玻璃樣品。本發(fā)明在PECVD中通過(guò)法拉第籠效應(yīng)在透明、絕緣基底上低溫制備的二維橫向石墨烯技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)比同等基底、同等溫度下，沒(méi)有法拉第籠作用下得到的縱向石墨烯納米墻更優(yōu)的導(dǎo)電性、更高的透光率以及更好的均勻性。