一種掩膜版清洗裝置及其清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110604114.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113351583A 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN113351583A 申請公布日 2021-09-07
分類號 B08B7/04;B08B7/00;B08B7/02;B08B3/02;B08B3/04;B08B3/08;B08B13/00;F26B21/00;H01L51/56 分類 清潔;
發(fā)明人 錢超;楊波 申請（專利權(quán)）人 江蘇高光半導(dǎo)體材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京行高知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 肖念
地址 212400 江蘇省鎮(zhèn)江市句容經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)容寧創(chuàng)業(yè)園2#
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種掩膜版清洗裝置，包括掛載架，掛載架內(nèi)設(shè)有離心組件，掛載架的外側(cè)套設(shè)有清洗組件，掛載架的兩端安裝有抵板，離心組件包括旋轉(zhuǎn)軸，旋轉(zhuǎn)軸的兩端分別與兩個抵板轉(zhuǎn)動連接，其中一個抵板上安裝有驅(qū)動電機(jī)，驅(qū)動電機(jī)與旋轉(zhuǎn)軸驅(qū)動連接，旋轉(zhuǎn)軸上設(shè)有移動塊，移動塊上安裝有卡合機(jī)構(gòu)，通過設(shè)置的離心組件和環(huán)筒的配合，以達(dá)到利用旋轉(zhuǎn)來促使掩膜版均勻多角度的受到水流的沖洗效果，并能實(shí)現(xiàn)自動化自清洗效果，降低人力成本，本發(fā)明通過設(shè)置的環(huán)筒內(nèi)的多個區(qū)間，以達(dá)到利用層層遞進(jìn)的方式來進(jìn)行對掩膜版的清洗，從而使得其上附著的雜質(zhì)可以更好的脫離其表面，在清洗完畢后進(jìn)行超聲震蕩烘干處理，防止水漬未干導(dǎo)致重新附著新的雜質(zhì)。