一種耐腐蝕絕緣掩膜版及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110760771.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113463022A 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN113463022A 申請公布日 2021-10-01
分類號 C23C14/04（2006.01）I;C23C14/24（2006.01）I;C23C4/131（2016.01）I;C23C4/06（2016.01）I;C23C4/129（2016.01）I;H01L21/32（2006.01）I;H01L27/32（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 錢超;楊波 申請（專利權(quán)）人 江蘇高光半導(dǎo)體材料有限公司
代理機構(gòu) 南京行高知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 肖念
地址 212400江蘇省鎮(zhèn)江市句容經(jīng)濟開發(fā)區(qū)容寧創(chuàng)業(yè)園2#
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種耐腐蝕絕緣掩膜版，包括掩膜版和掩膜版金屬框架，所述掩膜版包括多根橫條和多根縱條；所述橫條與所述縱條之間為正交關(guān)系且所述橫條與所述縱條交匯形成多個蒸鍍區(qū)域，每個所述橫條與每個所述縱條的兩端都設(shè)有軸突，所述掩膜版金屬框架上設(shè)有與所述軸突配合使用的焊接槽，本發(fā)明設(shè)計的金屬掩膜版橫條和縱條正交的結(jié)構(gòu)可以使得張網(wǎng)機對每個軸突進行拉伸的，這種正交軸結(jié)構(gòu)的掩膜版可以使得掩膜版各個方向拉伸更均勻，從而提高張網(wǎng)機的張網(wǎng)良率，本發(fā)明針對掩膜版與金屬框架的焊接部位進行了防腐蝕絕緣鍍膜，可以防止焊接處發(fā)生腐蝕，從而防止掩膜版反復(fù)使用后掩膜版發(fā)生脫落以及產(chǎn)生雜質(zhì)影響掩膜版蒸鍍良率。