一種超薄掩膜版及其加工方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110159598.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112904663A 公開（公告）日 2021-06-04
申請公布號 CN112904663A 申請公布日 2021-06-04
分類號 G03F1/38;G03F1/82 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 錢超;楊波;洪明;王有明 申請（專利權(quán)）人 江蘇高光半導體材料有限公司
代理機構(gòu) 南京縱橫知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 董成
地址 212400 江蘇省鎮(zhèn)江市句容經(jīng)濟開發(fā)區(qū)容寧創(chuàng)業(yè)園2#廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及超薄掩膜版技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種超薄掩膜版，包括第一L型防護板，所述第一L型防護板的內(nèi)側(cè)開設(shè)有放置槽，所述放置槽的內(nèi)腔活動連接有超薄掩膜版本體。該超薄掩膜版及其加工方法，通過超薄掩膜版本體的外側(cè)分別設(shè)有第一L型防護板和第二L型防護板，由于第一L型防護板的形狀特點和第二L型防護板的形狀特點，便于對超薄掩膜版本體的四側(cè)進行防護，通過第一L型防護板和第二L型防護板之間利用第一伸縮桿、擋板和第一彈簧連接，便于將第二L型防護板的一側(cè)卡在第一L型防護板的后側(cè)上，使得第二L型防護板在不受外力的情況下第二L型防護板能夠與第一L型防護板連接，提高了對超薄掩膜版本體四側(cè)防護的穩(wěn)定性。