一種疊層雙色紅外焦平面探測器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710786622.5 申請日 -
公開（公告）號 CN107706261A 公開（公告）日 2018-02-16
申請公布號 CN107706261A 申請公布日 2018-02-16
分類號 H01L31/101;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 司俊杰;曹先存;魯正雄;張利學;侯治錦;呂衍秋 申請（專利權）人 中航凱邁（上海）紅外科技有限公司
代理機構 鄭州睿信知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 中國空空導彈研究院
地址 201306 上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)臨港新片區(qū)天驕路336號1幢A206室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種疊層雙色紅外焦平面探測器及其制備方法，屬于半導體光電子器件技術領域。本發(fā)明將分布布拉格反射鏡結構引入疊層InAs/GaSb雙色超晶格結構光敏芯片中，分別對疊層雙色光敏吸收區(qū)未完全吸收的紅外光進行反射，使之重新返回吸收區(qū)本發(fā)明。通過對疊層雙色紅外探測器的兩個通道采用反射鏡層，提高了芯片相應通道的光電吸收效率，達到了提高器件性能指標的目的，同時相應減少了外延生長第一通道外延結構層和第二通道外延結構層的難度。