一種疊層雙色紅外焦平面探測器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710786622.5 申請日 -
公開（公告）號 CN107706261B 公開（公告）日 2019-10-08
申請公布號 CN107706261B 申請公布日 2019-10-08
分類號 H01L31/101;H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 司俊杰;曹先存;魯正雄;張利學(xué);侯治錦;呂衍秋 申請（專利權(quán)）人 中航凱邁（上海）紅外科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州睿信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中國空空導(dǎo)彈研究院
地址 201306 上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)天驕路336號1幢A206室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種疊層雙色紅外焦平面探測器及其制備方法，屬于半導(dǎo)體光電子器件技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明將分布布拉格反射鏡結(jié)構(gòu)引入疊層InAs/GaSb雙色超晶格結(jié)構(gòu)光敏芯片中，分別對疊層雙色光敏吸收區(qū)未完全吸收的紅外光進(jìn)行反射，使之重新返回吸收區(qū)本發(fā)明。通過對疊層雙色紅外探測器的兩個(gè)通道采用反射鏡層，提高了芯片相應(yīng)通道的光電吸收效率，達(dá)到了提高器件性能指標(biāo)的目的，同時(shí)相應(yīng)減少了外延生長第一通道外延結(jié)構(gòu)層和第二通道外延結(jié)構(gòu)層的難度。