一種多臺(tái)階微透鏡制作方法以及光學(xué)元件臺(tái)階制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410321487.3 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104330840B 公開(kāi)（公告）日 2016-05-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN104330840B 申請(qǐng)公布日 2016-05-04
分類(lèi)號(hào) G02B3/00(2006.01)I;G02B27/44(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I 分類(lèi) 光學(xué);
發(fā)明人 侯治錦;司俊杰;韓德寬;陳洪許;呂衍秋;丁嘉欣;張向鋒;姚官生;王理文;楊雪峰;耿東鋒 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 中航凱邁（上海）紅外科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州睿信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 胡泳棋
地址 201306 上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)天驕路336號(hào)1幢A206室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種多臺(tái)階微透鏡制作方法以及光學(xué)元件臺(tái)階制作方法，該方法通過(guò)僅有的一次掩膜光刻形成微透鏡最內(nèi)層環(huán)帶，然后通過(guò)負(fù)性光刻膠背面曝光顯影用作掩膜層，再經(jīng)腐蝕、背面曝光顯影，刻蝕形成基底的圖形，然后進(jìn)行循環(huán)得到按次序從內(nèi)到外逐次得到環(huán)帶圖形；還提出了一種制作光學(xué)元件臺(tái)階的制作方法。從根本上避免了傳統(tǒng)套刻方法制作微透鏡制作因掩模版對(duì)準(zhǔn)、光刻、刻蝕等工序中帶來(lái)的不可避免的誤差，減少了制作過(guò)程中的工藝步驟，降低了難度，滿(mǎn)足了微透鏡制作過(guò)程中高精度要求，有效的保證和提高了微透鏡衍射效益等光學(xué)性能。