一種多臺階微透鏡制作方法以及光學元件臺階制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410321487.3 申請日 -
公開（公告）號 CN104330840B 公開（公告）日 2016-05-04
申請公布號 CN104330840B 申請公布日 2016-05-04
分類號 G02B3/00(2006.01)I;G02B27/44(2006.01)I;G03F7/00(2006.01)I 分類 光學;
發(fā)明人 侯治錦;司俊杰;韓德寬;陳洪許;呂衍秋;丁嘉欣;張向鋒;姚官生;王理文;楊雪峰;耿東鋒 申請（專利權(quán)）人 中航凱邁（上海）紅外科技有限公司
代理機構(gòu) 鄭州睿信知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 胡泳棋
地址 201306 上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿(mào)易試驗區(qū)臨港新片區(qū)天驕路336號1幢A206室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種多臺階微透鏡制作方法以及光學元件臺階制作方法，該方法通過僅有的一次掩膜光刻形成微透鏡最內(nèi)層環(huán)帶，然后通過負性光刻膠背面曝光顯影用作掩膜層，再經(jīng)腐蝕、背面曝光顯影，刻蝕形成基底的圖形，然后進行循環(huán)得到按次序從內(nèi)到外逐次得到環(huán)帶圖形；還提出了一種制作光學元件臺階的制作方法。從根本上避免了傳統(tǒng)套刻方法制作微透鏡制作因掩模版對準、光刻、刻蝕等工序中帶來的不可避免的誤差，減少了制作過程中的工藝步驟，降低了難度，滿足了微透鏡制作過程中高精度要求，有效的保證和提高了微透鏡衍射效益等光學性能。