高效制作高精度多臺(tái)階微透鏡陣列的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410519354.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104237983B 公開(kāi)（公告）日 2016-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN104237983B 申請(qǐng)公布日 2016-09-28
分類號(hào) G02B3/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 侯治錦;司俊杰;韓德寬;陳洪許;呂衍秋;王巍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中航凱邁（上海）紅外科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州睿信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中國(guó)空空導(dǎo)彈研究院
地址 201306 上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)臨港新片區(qū)天驕路336號(hào)1幢A206室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種高效制作高精度多臺(tái)階微透鏡陣列的方法，將待制作的臺(tái)階陣列分為若干組，包括第一組、第二組，第一組與第二組首尾相接，每組的各臺(tái)階是深度連續(xù)的；同步制作第一組與第二組的各臺(tái)階，形成對(duì)應(yīng)深度相同的兩組臺(tái)階；將第二組臺(tái)階整體刻蝕一定的深度，與第一組臺(tái)階形成深度連續(xù)的臺(tái)階陣列。采用本發(fā)明的方法，分組同步制作，大大提升了制作效率，節(jié)省了成本。