陣列基板及其制作方法和顯示面板

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202080014831.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113454783A 公開（公告）日 2021-09-28
申請公布號 CN113454783A 申請公布日 2021-09-28
分類號 H01L27/12（2006.01）I;H01L21/77（2017.01）I;G02F1/1362（2006.01）I;G02F1/1368（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 鐘德鎮(zhèn);蔡志承;鄭會龍;王新剛 申請（專利權(quán)）人 昆山龍騰光電股份有限公司
代理機構(gòu) 上海波拓知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 蔡光仟
地址 215301江蘇省蘇州市昆山開發(fā)區(qū)龍騰路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種陣列基板、顯示面板及制作方法。陣列基板包括：基底；設(shè)于基底上的柵極；覆蓋柵極的第一絕緣層；設(shè)于第一絕緣層上的第一半導(dǎo)體層和第二半導(dǎo)體層，第一半導(dǎo)體層和第二半導(dǎo)體層上設(shè)有對應(yīng)柵極的溝道；第二半導(dǎo)體層包括層疊設(shè)置的第一金屬氧化物半導(dǎo)體層和第二金屬氧化物半導(dǎo)體層，第一金屬氧化物半導(dǎo)體層和第二金屬氧化物半導(dǎo)體層均在溝道處斷開，第二金屬氧化物半導(dǎo)體層的氧空位濃度小于第一金屬氧化物半導(dǎo)體層的氧空位濃度；設(shè)于第二半導(dǎo)體層上的源極和漏極，并且源極和漏極均與第二半導(dǎo)體層導(dǎo)電接觸。