一種兩端進氣的化學氣相沉積爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911363720.3 申請日 -
公開（公告）號 CN111020530A 公開（公告）日 2020-04-17
申請公布號 CN111020530A 申請公布日 2020-04-17
分類號 C23C16/44;C23C16/455;C23C16/52 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 汪洋;劉佳寶;萬強;柴攀;其他發(fā)明人請求不公開姓名 申請（專利權(quán)）人 湖南德智新材料有限公司
代理機構(gòu) 長沙朕揚知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 湖南德智新材料有限公司
地址 412007 湖南省株洲市天元區(qū)中國動力谷自主創(chuàng)新園（研發(fā)中心C棟2樓202號）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種兩端進氣的化學氣相沉積爐，包括進氣系統(tǒng)、沉積爐、抽氣系統(tǒng)和控制裝置，沉積爐包括鋼體外殼和用于容置待氣相沉積的工件的石墨坩堝，鋼體外殼罩設(shè)于石墨坩堝的外部，沉積爐的兩端均設(shè)有連通石墨坩堝的進氣口和出氣口，兩個進氣口連接進氣系統(tǒng)，兩個出氣口連接抽氣系統(tǒng)；分布于沉積爐兩端的一進氣口和一出氣口為一組，控制裝置控制進氣口和出氣口的啟閉，使同一時間內(nèi)有且僅有一組的進氣口和出氣口開啟。本發(fā)明的兩端進氣的化學氣相沉積爐具有簡單實用、能提高內(nèi)部氣體濃度均勻性和產(chǎn)品涂層厚度均勻性等優(yōu)點。