一種化學氣相沉積尾氣回收裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911329217.6 申請日 -
公開（公告）號 CN110975433A 公開（公告）日 2020-04-10
申請公布號 CN110975433A 申請公布日 2020-04-10
分類號 B01D46/00;B01D46/12;B01D53/00;B01D53/04;C01B33/107;C07F7/12;C07F7/20;C23C16/32;C23C16/44 分類 一般的物理或化學的方法或裝置;
發(fā)明人 劉佳寶;汪洋;萬強;柴攀;其他發(fā)明人請求不公開姓名 申請（專利權(quán)）人 湖南德智新材料有限公司
代理機構(gòu) 長沙朕揚知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 湖南德智新材料有限公司
地址 412007 湖南省株洲市天元區(qū)中國動力谷自主創(chuàng)新園（研發(fā)中心C棟2樓202號）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種化學氣相沉積尾氣回收裝置，包括活性炭氈過濾器、一級冷卻回收器和二級冷卻回收器，活性炭氈過濾器的入口通過管道與化學氣相沉積爐的排氣口連通，活性炭氈過濾器的出口通過管道與一級冷卻回收器的入口端相連通，一級冷卻回收器的出口通過管道與二級冷卻回收器的入口端相連通，二級冷卻回收器的出口端與真空泵相連接。本發(fā)明可以有效清除化學氣相沉積法制備碳化硅涂層或碳化硅納米線等尾氣中的粉塵顆粒，并回收尾氣中的四氯化硅和三氯甲基硅烷，降低生產(chǎn)成本，減少對環(huán)境的污染的同時，延長了真空泵的使用壽命。