一種化學(xué)氣相沉積尾氣再利用系統(tǒng)及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911327220.4 申請日 -
公開（公告）號 CN110975432A 公開（公告）日 2020-04-10
申請公布號 CN110975432A 申請公布日 2020-04-10
分類號 B01D46/00;B01D46/12;C23C16/32 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 劉佳寶;汪洋;萬強(qiáng);柴攀;其他發(fā)明人請求不公開姓名 申請（專利權(quán)）人 湖南德智新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙朕揚知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 湖南德智新材料有限公司
地址 412007 湖南省株洲市天元區(qū)中國動力谷自主創(chuàng)新園（研發(fā)中心C棟2樓202號）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種化學(xué)氣相沉積尾氣再利用系統(tǒng)及方法，包括一級活性炭氈過濾器、二級活性炭氈過濾器、三氯甲基硅烷供氣系統(tǒng)和流量控制系統(tǒng)，一級活性炭氈過濾器的入口通過管道與第一化學(xué)氣相沉積爐的排氣口連通，一級活性炭氈過濾器的出口通過管道與二級活性炭氈過濾器的入口端相連通，二級活性炭氈過濾器的出口通過管道與流量控制系統(tǒng)相連通，三氯甲基硅烷供氣系統(tǒng)通過管道與流量控制系統(tǒng)相連通，流量控制系統(tǒng)出口與第二化學(xué)氣相沉積爐相連通。本發(fā)明可以將化學(xué)氣相沉積法尾氣中的四氯化硅、三氯甲基硅烷、氫氣和氬氣等有效成分再次利用，進(jìn)行二次沉積，提高三氯甲基硅烷的利用率，降低生產(chǎn)成本，并減少對環(huán)境的污染。