一種高精度聲表面波陣列傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710669333.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107515062A 公開（公告）日 2017-12-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN107515062A 申請(qǐng)公布日 2017-12-26
分類號(hào) G01L1/25(2006.01)I;G01L11/04(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 武瑞德;黃鑫;邱浩洋;武俊安;張文全 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 雅泰歌思（上海）通訊科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海碩力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 雅泰歌思（上海）通訊科技有限公司
地址 201207 上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)祖沖之路2305號(hào)B幢802室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種高精度聲表面波陣列傳感器，包括：一基板，至少兩個(gè)傳感單元，每個(gè)所述傳感單元固設(shè)于所述基板上；每個(gè)所述傳感單元包括：壓電基底；其中，各所述傳感單元的壓電基底不同，通過不同所述壓電基底的所述傳感單元的組合實(shí)現(xiàn)多個(gè)待測(cè)的物理參數(shù)的測(cè)量。本發(fā)明采用具有不同特性的壓電基底實(shí)現(xiàn)對(duì)同一位置多參數(shù)并行測(cè)量；且各傳感單元采用時(shí)分多路復(fù)用規(guī)則，使各傳感單元測(cè)量的參數(shù)具有極高的時(shí)間耦合度。對(duì)采用同一種壓電基底的傳感單元可以批量生產(chǎn)，簡(jiǎn)化了標(biāo)定過程。