一種等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110046681.1 申請日 -
公開（公告）號 CN102102226B 公開（公告）日 2012-09-12
申請公布號 CN102102226B 申請公布日 2012-09-12
分類號 C30B33/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 王飛;宋志安;賴汝萍 申請（專利權）人 神硅新能源有限公司
代理機構 北京捷誠信通專利事務所（普通合伙） 代理人 董琪
地址 325000 浙江省蒼南縣靈溪鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)二期環(huán)城北路以南溫州神硅電子有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種等長晶圓棒或等長方晶錠的拼接裝置及方法，包括拼接機構及配套的吸拿工具，通過承載對中桶上的定位螺絲固定等徑短圓晶棒或等邊方錠，并通過同心度確定裝置確保上下疊置的四個等徑短圓晶棒或等邊方錠的同心度，把四個等徑短圓晶棒的四個結晶對稱棱線由下至上對齊，或把四個等邊方錠的四角由下至上對齊，在等徑短圓晶棒或等邊方錠的外表面上劃一直線作為二次對接線，用吸拿工具將上面的第二～第四個等徑短圓晶棒或等邊方錠依次提出，抹上粘接劑后按二次對接線重新對齊、固定，完成拼接。本發(fā)明所述的拼接裝置及方法，拼接時間短，拼接好的等長晶圓棒或等長方晶錠的同心度好，四個結晶對稱棱線或方錠四角容易對齊，易于標準化和規(guī)?；a。