一種硅單晶爐連續(xù)投料裝置及設(shè)有該裝置的硅單晶爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200810175871.1 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN101403136B 公開（公告）日 2010-09-08
申請公布號(hào) CN101403136B 申請公布日 2010-09-08
分類號(hào) C30B15/02(2006.01)I;F27B17/00(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 王飛;賴汝萍 申請（專利權(quán)）人 神硅新能源有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京捷誠信通專利事務(wù)所 代理人 魏殿紳;龐炳良
地址 325800 浙江省蒼南縣靈溪鎮(zhèn)商場二街52號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種硅單晶爐連續(xù)投料裝置及設(shè)有該裝置的硅單晶爐，涉及硅單晶爐配套設(shè)備，包括料筒(7)，料筒(7)設(shè)有上端外表面向內(nèi)延伸的凸臺(tái)(8)，料筒(7)的底邊內(nèi)翻并卡設(shè)一硅片(6)，壓桿外套筒(4)兩端通過上下扁鋼片(9、10)固設(shè)在料筒(7)內(nèi)，壓桿外套筒(4)內(nèi)設(shè)有可在壓桿外套筒(4)內(nèi)上下移動(dòng)的壓桿(5)，壓桿(5)的上端設(shè)有壓桿滑輪(3)，通過銷軸(11)設(shè)置在上扁鋼片(9)上的操縱連桿(2)的一端和壓桿滑輪(3)的外表面抵接，另一端和操縱機(jī)構(gòu)滑輪(1)連接。本發(fā)明，結(jié)構(gòu)簡單，能夠在不開爐的條件下，連續(xù)向石英坩堝內(nèi)投料，使得硅單晶爐產(chǎn)量和成品率增高，降低能耗和成本。