一種等長(zhǎng)晶圓棒或等長(zhǎng)方晶錠的拼接裝置及方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201110046681.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN102102226A | 公開(kāi)（公告）日 | 2011-06-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN102102226A | 申請(qǐng)公布日 | 2011-06-22 |
| 分類(lèi)號(hào) | C30B33/06(2006.01)I | 分類(lèi) | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 王飛;宋志安;賴(lài)汝萍 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 神硅新能源有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京捷誠(chéng)信通專(zhuān)利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 董琪 |
| 地址 | 325000 浙江省蒼南縣靈溪鎮(zhèn)工業(yè)園區(qū)二期環(huán)城北路以南溫州神硅電子有限公司 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及一種等長(zhǎng)晶圓棒或等長(zhǎng)方晶錠的拼接裝置及方法，包括拼接機(jī)構(gòu)及配套的吸拿工具，通過(guò)承載對(duì)中桶上的定位螺絲固定等徑短圓晶棒或等邊方錠，并通過(guò)同心度確定裝置確保上下疊置的四個(gè)等徑短圓晶棒或等邊方錠的同心度，把四個(gè)等徑短圓晶棒的四個(gè)結(jié)晶對(duì)稱(chēng)棱線由下至上對(duì)齊，或把四個(gè)等邊方錠的四角由下至上對(duì)齊，在等徑短圓晶棒或等邊方錠的外表面上劃一直線作為二次對(duì)接線，用吸拿工具將上面的第二～第四個(gè)等徑短圓晶棒或等邊方錠依次提出，抹上粘接劑后按二次對(duì)接線重新對(duì)齊、固定，完成拼接。本發(fā)明所述的拼接裝置及方法，拼接時(shí)間短，拼接好的等長(zhǎng)晶圓棒或等長(zhǎng)方晶錠的同心度好，四個(gè)結(jié)晶對(duì)稱(chēng)棱線或方錠四角容易對(duì)齊，易于標(biāo)準(zhǔn)化和規(guī)?；a(chǎn)。 |
