MEMS微動(dòng)平臺(tái)的檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111167838.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113998662A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-02-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113998662A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-01 |
| 分類號(hào) | B81B7/02（2006.01）I;B81C99/00（2010.01）I | 分類 | 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕; |
| 發(fā)明人 | 齊強(qiáng)先;王鵬;謝會(huì)開(kāi) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無(wú)錫微奧科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京博雅睿泉專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 周禮濤 |
| 地址 | 214000江蘇省無(wú)錫市新區(qū)菱湖大道200號(hào)中國(guó)傳感網(wǎng)國(guó)際創(chuàng)新園B2-305室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種MEMS微動(dòng)平臺(tái)的檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法，檢測(cè)裝置包括：振動(dòng)源，所述振動(dòng)源用于產(chǎn)生包含MEMS微動(dòng)平臺(tái)諧振頻率的振動(dòng)，所述振動(dòng)源能夠使一個(gè)或多個(gè)所述MEMS微動(dòng)平臺(tái)同時(shí)振動(dòng)；觀測(cè)裝置，所述觀測(cè)裝置用于觀察所述MEMS微動(dòng)平臺(tái)的振動(dòng)狀態(tài)。本申請(qǐng)的檢測(cè)裝置，通過(guò)對(duì)MEMS微動(dòng)平臺(tái)自身頻率響應(yīng)的檢測(cè)，能夠一次性檢測(cè)振動(dòng)源上的所有MEMS微動(dòng)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)良率，有效提高M(jìn)EMS微動(dòng)平臺(tái)的檢測(cè)效率和檢測(cè)準(zhǔn)確率。同時(shí)該MEMS微動(dòng)平臺(tái)的檢測(cè)裝置，成本較低，且不會(huì)在MEMS微動(dòng)平臺(tái)上留下扎針痕跡，破壞MEMS微動(dòng)平臺(tái)的結(jié)構(gòu)。 |
