二維微鏡

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111155662.2 申請日 -
公開（公告）號 CN114019675A 公開（公告）日 2022-02-08
申請公布號 CN114019675A 申請公布日 2022-02-08
分類號 G02B26/08（2006.01）I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 謝會開;王鵬 申請（專利權(quán)）人 無錫微奧科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京博雅睿泉專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 田露
地址 100081北京市海淀區(qū)中關(guān)村南大街5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開公開了一種二維微鏡。該二維微鏡包括外框架及套設(shè)于所述外框架內(nèi)側(cè)的內(nèi)框架；所述外框架與所述內(nèi)框架之間設(shè)置有第一驅(qū)動器；所述內(nèi)框架的內(nèi)側(cè)設(shè)置有第二驅(qū)動器；所述第一驅(qū)動器和所述第二驅(qū)動器均為電熱驅(qū)動器，或者，所述第一驅(qū)動器為電熱驅(qū)動器、所述第二驅(qū)動器為靜電驅(qū)動器；所述第一驅(qū)動器包括支撐梁及驅(qū)動臂組件；所述支撐梁連接在所述內(nèi)框架的外側(cè)，所述驅(qū)動臂組件與所述支撐梁連接，所述驅(qū)動臂組件設(shè)置有多個，多個所述驅(qū)動臂組件沿第一方向排布，所述第一方向?yàn)樗鲋瘟旱拈L度方向。