MEMS掃描振鏡振動參數(shù)的測量系統(tǒng)和測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111150366.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113932908A 公開（公告）日 2022-01-14
申請公布號 CN113932908A 申請公布日 2022-01-14
分類號 G01H9/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 謝會開;王鵬 申請（專利權(quán)）人 無錫微奧科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京成創(chuàng)同維知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉靜;李秀霞
地址 100081北京市海淀區(qū)中關(guān)村南大街5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種MEMS掃描振鏡振動參數(shù)的測量系統(tǒng)和測量方法，該測量系統(tǒng)包括：準(zhǔn)直光源，用于向MEMS掃描振鏡的背面以相同方向入射準(zhǔn)直光，預(yù)設(shè)翻轉(zhuǎn)角度的MEMS掃描振鏡平行于準(zhǔn)直光入射方向且與準(zhǔn)直光源有恒定間距；借助光柵結(jié)構(gòu)構(gòu)成的多個不同反光區(qū)，多個反光區(qū)分布在MEMS掃描振鏡的背面，不同的反光區(qū)各自在MEMS掃描振鏡的一個翻轉(zhuǎn)角度上接收準(zhǔn)直光的照射并向固定位置出射回波；光電探測器，用于在固定位置接收回波并轉(zhuǎn)換回波為電信號；信號處理器，連接光電探測器，用于基于電信號確定振動參數(shù)。本申請簡化了振動參數(shù)測量系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。