MEMS微鏡、電子設備及MEMS微鏡的使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111157004.7 申請日 -
公開（公告）號 CN114047625A 公開（公告）日 2022-02-15
申請公布號 CN114047625A 申請公布日 2022-02-15
分類號 G02B26/08（2006.01）I 分類 光學;
發(fā)明人 謝會開;王鵬 申請（專利權）人 無錫微奧科技有限公司
代理機構 北京博雅睿泉專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 楊璐
地址 100081北京市海淀區(qū)中關村南大街5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本公開實施例提供了一種MEMS微鏡、電子設備及MEMS微鏡的使用方法；其中，MEMS微鏡包括基底，鏡面，靜電吸合裝置及驅(qū)動裝置；鏡面懸置于基底上；靜電吸合裝置包括第一靜電電極和第二靜電電極，第一靜電電極位于基底上，第二靜電電極位于鏡面上；驅(qū)動裝置的一端與基底連接，驅(qū)動裝置的另一端與鏡面連接，驅(qū)動裝置能夠發(fā)生彎曲，驅(qū)動裝置被構造為能夠帶動鏡面相對于基底發(fā)生運動；在驅(qū)動裝置彎曲的狀態(tài)下，鏡面能夠朝向第一靜電電極運動，并能夠通過第二靜電電極靜電吸合在第一靜電電極上。本公開實施例為MEMS微鏡提供了一種抗沖擊振動的方案，其鏡面在不使用的情況下可以通過靜電吸合在基底上。