一種微結(jié)構(gòu)的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810424106.2 申請日 -
公開（公告）號 CN108640081B 公開（公告）日 2019-11-12
申請公布號 CN108640081B 申請公布日 2019-11-12
分類號 B81C1/00（2006.01）I; B81C3/00（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 張軍 申請（專利權(quán)）人 東臺海濱科技創(chuàng)業(yè)園管理有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州創(chuàng)策知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 周錦全
地址 321000 浙江省金華市武義縣履坦鎮(zhèn)蔣村村金雞路12號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種微結(jié)構(gòu)的制備方法，通過使用富氫材料形成的圖形結(jié)構(gòu)作為形成器件結(jié)構(gòu)的模，并通過微波或激光加熱，使得聚二甲基硅氧烷形成的微結(jié)構(gòu)脫模變得容易，形成的微結(jié)構(gòu)完整，并且通過表面改性達(dá)到較高的表面質(zhì)量。