一種晶圓加熱器
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020089126.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN211378286U | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-08-28 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211378286U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-28 |
| 分類號(hào) | H05B3/26(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 顧幼范;謝龍;馮永平;宋海倫;薛新軍 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無(wú)錫新輝龍科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京品源專利代理有限公司 | 代理人 | 無(wú)錫新輝龍科技有限公司 |
| 地址 | 214000江蘇省無(wú)錫市無(wú)錫惠山經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)清研路12號(hào)華清創(chuàng)新園11-501-1 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種晶圓加熱器，其包括承載盤(pán)、支撐柱和云母加熱片，承載盤(pán)設(shè)于支撐柱的一端，由支撐柱豎立支撐，承載盤(pán)的上表面盛放待加熱的晶圓，承載盤(pán)的內(nèi)部中空形成盤(pán)面狀的容腔，云母加熱片設(shè)置于容腔中，為承載盤(pán)的上表面均勻供熱，支撐柱中空，云母加熱片的電源線自支撐柱中引出。上述晶圓加熱器采用圓盤(pán)狀的云母加熱片為工作盤(pán)面提供持續(xù)、均勻的高溫，配合鋁制承載盤(pán)和支撐柱提供工作平臺(tái)，增加受熱面積，提高受熱均勻性，同時(shí)解決電源線走線問(wèn)題，確保其與發(fā)熱面隔離，外形簡(jiǎn)潔。?? |
