蒸鍍裝置及方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201610830421.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN106567043B | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN106567043B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-05-07 |
| 分類號(hào) | H01L51/56(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I;C23C14/26(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 孫亮 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 湖畔光電科技（江蘇）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京律遠(yuǎn)專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 丁清鵬 |
| 地址 | 213200江蘇省常州市金壇區(qū)華城中路168號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種蒸鍍裝置，包括：蒸鍍?cè)?、蒸鍍材料與顯示器背板，蒸鍍?cè)从糜诩訜嵴翦儾牧?；蒸鍍材料設(shè)置在蒸鍍?cè)吹膬?nèi)部；顯示器背板為蒸鍍材料最終蒸鍍到的位置，顯示器背板與蒸鍍?cè)粗g的距離定義為TS距離；其中，蒸鍍?cè)吹捻敳吭O(shè)置有上蓋板，上蓋板上設(shè)置有多個(gè)導(dǎo)流氣孔，導(dǎo)流氣孔用于引導(dǎo)被蒸鍍的蒸鍍材料運(yùn)動(dòng)至顯示器背板；多個(gè)導(dǎo)流氣孔包括：一中心直孔與圍繞中心直孔的多圈斜孔，在上蓋板上方每圈斜孔均以縱向方向?yàn)橹行南蛏仙w板方向呈銳角傾斜。本發(fā)明還公開(kāi)了與該蒸鍍裝置相對(duì)應(yīng)的蒸鍍方法。本發(fā)明具有材料使用率高、成膜均勻性好且生產(chǎn)成本低的有益效果。?? |
