一種含稀土金屬的銅鎳合金靶材、其制備方法及應(yīng)用

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111515731.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114196925A 公開（公告）日 2022-03-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN114196925A 申請(qǐng)公布日 2022-03-18
分類號(hào) C23C14/34（2006.01）I;C22C9/06（2006.01）I;B22F10/50（2021.01）I;B22F10/10（2021.01）I;B33Y10/00（2015.01）I;B33Y70/00（2020.01）I;B33Y80/00（2015.01）I;B23K20/12（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 謝迎春;馬文花;孫文;趙仕杰;鄧暢光;殷碩;黃仁忠 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 廣東省科學(xué)院工業(yè)分析檢測(cè)中心
代理機(jī)構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 宋南
地址 510650廣東省廣州市天河區(qū)長(zhǎng)興路363號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種含稀土金屬的銅鎳合金靶材、其制備方法及應(yīng)用，涉及合金靶材技術(shù)領(lǐng)域。該制備方法包括：包括：采用逐層沉積的方式，每層沉積的過程中均包括同時(shí)進(jìn)行的固態(tài)金屬沉積和攪拌摩擦焊；其中，固態(tài)金屬沉積是將合金粉末沉積于背板或上一層沉積體上，攪拌摩擦焊是在固態(tài)金屬沉積得到的沉積體上進(jìn)行攪拌；其中，按重量百分比計(jì)，合金粉末包括以下組分：RE 0.002?0.05％、Ni 3?10％，余量為Cu及不可避免的雜質(zhì)。能夠有效提高材料的利用率；材料不發(fā)生氧化、分解，可使靶材完整保留原材料組分；靶材致密、晶粒小、組織均勻、氣體含量低、焊接處界面的結(jié)合率高，能夠顯著提高靶材的性能。