連續(xù)掩膜擋板傳動(dòng)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201511033444.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105525257B 公開（公告）日 2018-04-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN105525257B 申請(qǐng)公布日 2018-04-27
分類號(hào) C23C14/04;C23C16/04;C23C14/54;C23C16/52 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 郭祖華;葛懷慶;練菊;朱向煒 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蚌埠雷諾真空技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蚌埠鼎力專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 張建宏;和聚龍
地址 233010 安徽省蚌埠市東海大道6318號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明給出了一種連續(xù)掩膜擋板傳動(dòng)裝置,包括電機(jī)、掩膜擋板、安裝支架、傳動(dòng)組件和底座，安裝支架內(nèi)開有貫穿上、下端面的鍍膜槽口，鍍膜槽口內(nèi)側(cè)壁上開有至少一條滑槽，掩膜擋板在所述滑槽內(nèi)移動(dòng)，底座放置在鍍膜槽口下側(cè)；傳動(dòng)組件至少包括傳動(dòng)絲桿，傳動(dòng)絲桿包括螺桿和螺母，螺桿支撐在安裝支架上，螺桿的放置走向與滑槽的走向一致，螺母固定在掩膜擋板上；電機(jī)帶動(dòng)傳動(dòng)組件的螺桿轉(zhuǎn)動(dòng)。初始狀態(tài)下掩膜擋板完全遮擋待鍍膜的工件，電機(jī)驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)組件帶動(dòng)掩膜擋板移動(dòng)，使工件逐步暴露在掩膜擋板外，配合外部鍍膜設(shè)備對(duì)工件持續(xù)鍍膜，進(jìn)而達(dá)到漸進(jìn)式鍍膜的目的，滿足對(duì)工件鍍膜厚度的變化要求。