真空機械手傳動裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201511033442.7 申請日 -
公開（公告）號 CN105441898A 公開（公告）日 2016-03-30
申請公布號 CN105441898A 申請公布日 2016-03-30
分類號 C23C14/50(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 房如楓;郭祖華;劉海;葛懷慶;孫嵩泉 申請（專利權(quán)）人 蚌埠雷諾真空技術(shù)有限公司
代理機構(gòu) 蚌埠鼎力專利商標事務(wù)所有限公司 代理人 王琪;王玲霞
地址 233010 安徽省蚌埠市東海大道6318號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種真空機械手傳動裝置，包括磁流體動密封、機械手臂及齒輪傳動機構(gòu)，通過轉(zhuǎn)動馬達驅(qū)動第一齒輪、第二齒輪轉(zhuǎn)動，聯(lián)動磁流體動密封的旋轉(zhuǎn)軸，帶動擺桿底座轉(zhuǎn)動；通過移動馬達驅(qū)動聯(lián)動磁流體動密封的中心軸上端的第三齒輪轉(zhuǎn)動，間接驅(qū)動滾珠絲杠旋轉(zhuǎn)，來驅(qū)動機械手臂移動；實際運行過程中，通過手動或自動精確控制轉(zhuǎn)動馬達或移動馬達，來實現(xiàn)機械手臂的精確定位，可以使鍍膜工件和靶材在系統(tǒng)各個真空室之間轉(zhuǎn)運，且旋轉(zhuǎn)中心位于中間，旋轉(zhuǎn)半徑縮小一半，適用于多種鍍膜機的工件傳運。