HVPE密封式自動(dòng)鎵源注入系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021897628.3 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN213327928U | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN213327928U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-01 |
| 分類號(hào) | C30B25/02（2006.01）I;C30B29/40（2006.01）I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 王亮;李枝旺 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 鎵特半導(dǎo)體科技（銅陵）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 銅陵市嘉同知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 程玉霞 |
| 地址 | 244000安徽省銅陵市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)天門山北道3139號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開(kāi)了HVPE密封式自動(dòng)鎵源注入系統(tǒng)，它包括：鎵舟（1）；附屬鎵舟（2），所述附屬鎵舟位于鎵舟上方并通過(guò)管道與鎵舟連通；控制閥（3），所述控制閥安裝于附屬鎵舟與鎵舟之間的管道上；電子天平（4）；所述電子天平安裝在附屬鎵舟上；PLC（5），所述PLC與控制閥和電子天平信號(hào)連接；電腦（6），所述電腦與PLC信號(hào)連接。本實(shí)用新型的有益效果是利用電腦控制整個(gè)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化的控制，而且精確度和可靠性較高，同時(shí)也可以減少對(duì)HVPE反應(yīng)腔的污染，更好地保證鎵舟內(nèi)鎵源的品質(zhì)同時(shí)提高了產(chǎn)品的良率，減小了不必要的生產(chǎn)成本。對(duì)其保養(yǎng)或者注入新鎵源時(shí)，勿需拆下整體設(shè)備進(jìn)行處理，大大減少人力物力以及保養(yǎng)時(shí)間，更有效地降低生產(chǎn)成本。?? |
