一種減少HVPE外延膜缺陷的鎵舟結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120436381.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214361833U 公開（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN214361833U 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) C30B25/08（2006.01）I;C30B25/14（2006.01）I;C30B29/40（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 張林;魏曙亮 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 鎵特半導(dǎo)體科技（銅陵）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 銅陵市嘉同知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 程玉霞
地址 244000安徽省銅陵市銅陵經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)天門山北道3139號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種減少HVPE外延膜缺陷的鎵舟結(jié)構(gòu)，包括：殼體；上法蘭端，所述上法蘭端密封安裝于殼體的上端；進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管連通于上法蘭端的中央；第一進(jìn)氣口和第二進(jìn)氣口，所述第一進(jìn)氣口和第二進(jìn)氣口關(guān)于進(jìn)氣管對(duì)稱開設(shè)于上法蘭端上；多層倉(cāng)，所述多層倉(cāng)固接于上法蘭端底部用于盛放金屬鎵，所述多層倉(cāng)的底部具有收縮部，所述進(jìn)氣管底部沿多層倉(cāng)的軸向向下延伸并與收縮部形成同心的圓柱腔；載臺(tái)，所述載臺(tái)位于殼體內(nèi)的多層倉(cāng)下方；襯底，所述襯底置于載臺(tái)上且正對(duì)圓柱腔。本實(shí)用新型的有益效果是可以有效的減少鎵舟腐蝕，提高鎵舟的使用壽命，進(jìn)而減少外延膜缺陷，提高外延膜質(zhì)量。