自動凈化HVPE取片艙環(huán)境系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021897595.2 申請日 -
公開（公告）號 CN213327929U 公開（公告）日 2021-06-01
申請公布號 CN213327929U 申請公布日 2021-06-01
分類號 C30B25/08（2006.01）I;C30B25/14（2006.01）I;C30B29/40（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李枝旺;王亮 申請（專利權）人 鎵特半導體科技（銅陵）有限公司
代理機構 銅陵市嘉同知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 程玉霞
地址 244000安徽省銅陵市經(jīng)濟技術開發(fā)區(qū)天門山北道3139號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了自動凈化HVPE取片艙環(huán)境系統(tǒng)，它包括：反應腔（1）；取片艙（2）；所述取片艙安裝于反應腔底部；閘閥（3），所述閘閥安裝于反應腔底部和取片艙頂部之間；排氣控制系統(tǒng)，所述排氣控制系統(tǒng)分別與反應腔和取片艙連通。本實用新型的有益效果是本實用新型的有益效果是設計了一種含反應腔、閘閥、氣動閥、泵、排氣控制系統(tǒng)的裝置，最大限度解決上、下片污染腔體環(huán)境而導致每次上、下片生長前幾爐生長質量相對差等問題。??